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一、项目名称：电子束光刻系统

二、招标编号：S ***

三、招标人： (略) 国有资产与 (略)

地址： (略) 省 (略) 市东环路50号凌云楼0904室

邮编： *** 传真： ***

联系人：罗老师 电话： *** ， ***

电子邮箱：lrb998@ ***

技术联系人：彭老师 电话： ***

电子邮箱：changsipeng@ ***

四、招标货物品名、数量、主要性能参数基本要求

电子束光刻系统 1套

（一）硬件配置

1.电子束曝光系统；

2.灯丝类型： (略) 发射源，包括1个备用灯丝；

3.电子束光路无交叉干扰；

4.探测器：轴向(In-lens)二次电子探测器和离轴二次电子探测器；

5.样品架：2英寸样品架，和可承载6mm散片的通用样品架；

6.定位系统：激光干涉工作台， (略) 程为XYZ=50×50×25mm，XY方向定位精度为2nm；

7.图形发生器扫描频率最大12MHz，配备高精度16bit DAC；

8.隔振系统：3倍摆式阻尼器；

9.配置束闸，法拉第杯，束电流表（皮安计），CCD，水冷，UPS（至少有30分钟不间断电源）等。

（二）性能要求

1.束能量范围：从20eV到30keV；

2.束流范围：从5pA到20 nA；

3.束流漂移：束电流稳定性≤0.5%/h、束位置稳定性≤400nm/h；

4.放大倍数：20倍～100万倍；

5.写场可设定范围：500nm × 500nm ～ 2mm × 2mm；

6.最小线宽≤ 8nm；

7.光栅周期≤ 40nm；

8.拼接精度≤ 50nm（平均3倍标准偏差）；

9.套刻精度≤ 50nm（平均3倍标准偏差）；

10.免费安装、调试；

11.不少 (略) 培训；

（三）软件

1.高级曝光软件：在高低分辨率间自动切换，快慢图形化策略自动切换，无需人员介入 (略) ；

2.三维曝光软件：实现三维灰度曝光；

3.图形编辑器：可对 (略) 分层设计， (略) 理复杂图形的能力；

4.软件可接受GDSII、DXF、ASCII、CIF等多种文件格式；

5.多种扫描方式可供选择，如：矢量扫描模式、直接曝光单像素点或单像素线、光栅扫描的方式、圆形曝光模式、蛇形、线扫描、任意方向扫描等；

6.具备成像和尺寸度量功能， (略) 在线或离线的工艺 (略) 理等。

（四）质保期至少1年。

五、评分标准

本次招标采用综合评分法，总分为100分,具体内容如下：

1.技术参数及整体综合性能（50分）

1.1技术参数（35分）

投标人需提供反映该产品技术参数的测试报告或产品说明书等作为评标依据，否则视为偏离。

1.1. (略) 要求，或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的， (略) 评审可作为无效投标。

1.1. (略) 文件技术条款要求的（偏离）、配置不详、技术参数不清或缺漏项的，每处扣2分。

1.2综合性能情况（15分）

1.2. (略) 文件中技术条款要求情况（评委会认为超出指标有意义的）（8分）。其中优于功 (略) 加1分。

1.2.2所 (略) 反馈情况（7分）。 (略) 投产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况等综合评定。

2.价格分（35分）

2.1评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分35分。

2.2其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分＝（评标基准价／投标报价）×35分。

3.综合商务（15分）

3.1 售后与培训服务（3分）。根据投标人在 (略) 周边地 (略) 点及其数量、服务响应时间以及现有用户服务反馈情况等综合评定。

3.2质保期（3分）。 (略) 要求的得1分，每增加1年加1分。

3.3 投标人综合实力（3分）。根据投标人的注册资本、公司成立年限与员工数、投标人的资质与证书等综合评定。

3.4 财务状况（1分）。

3.5标书质量（2分）。根据投标文件的规范性、完整性等综合评定。

3.6 其他优惠措施（3分）。 (略) 文件要求范围以外， (略) 认可的优惠措施综合评定。

六、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照《 (略) 采购仪器设备投标人须知》第21条 (略) 。

七、招标文件价格：人民币800元（可投标时交纳），售后不退。

八、投标报名截止时间： * 日12：00。投标报名要求：

（一）在报名截止时间前将投标确认函（格式见附件） (略) 人处；

（二） (略) 仪器设备供应商库http:/ *** 注册的供应商，请在报名截止时间之前完成注册。

九、投标截止时间： * 日8：30。各投标人在投标前，须认真阅读《 (略) 采购仪器设备投标人须知》 (略) ，完全了 (略) 有条款及要求。并在截止时间之前将投标文件一式7份（其中正本1份，副本6份） (略) 。

十、开标时间： * 日8：30。

十一、未尽事宜，按《 (略) 采购仪器设备投标人须知》中的 (略) 。