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苏州市中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2020年10月政府采购意向-超高真空管道的传输室单元(增加2)

发布时间:2020/10/16 地区: 江苏 - 苏州市

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所属地区 江苏 
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公告摘要


超高真空管道的传输室单元(增加2)
(略) 在采购意向: (略) (略) 纳米技术与纳 (略) * 年 * 月政府采购意向
采购单位: (略) (略) 纳米技术与纳 (略)
采购项目名称:超高真空管道的传输室单元(增加2)
预算金额: * . *** 万元(人民币)
采购品目:
A *** 真空系统附件
采购需求概况:
此次的采购标的为超高真空管道的传输室单元(增加2),7套。采购的目的是对纳米真 (略) 现有超高真空管道的延长,以满足设备对接的需要。纳米真 (略) 是把材料生长设备、器件工艺设备和表征测试设备相互连接到同 * 个超高真空环境下,解决传统超净间模式中难以解决的尘埃、表面氧化和吸附等污染问题,突破现有仪器设备的功能限制,实现材料制备、测试分析与微纳加工工艺等方面协同效应,为科研和战略性 (略) 产业发展提供先进的、开放性的平台。标的需要满足主要技术指标为:1)传输室极限真空度:≤2× * - * Torr;工作真空度:≤6× * - * Torr。2)真空检漏漏率:≤5× * - * Torr.L/S。3)小车在 (略) 速度0~3 m/min可调,小车定位准确、重复性好、运行平稳。4)小车单次运送样品数量至少3个。5)传输室系统具有标定 、识别、定位样品和小车的功能。6)硬件和软件都必须保证与已有超高真空管道相互兼容,外观与已有超高真空管道保持 * 致。
预计采购时间: ***
备注:
(略) 为准。

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。

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