中国科学院2020年7至12月政府采购意向-常压金属有机物化学气相沉积设备 -江苏招标网

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发布时间：2020/7/2 地区：江苏

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常压金属有机物化学气相沉积设备
(略) 在采购意向：	(略) * 月政府采购意向
采购单位：	(略) (略) 纳米技术与纳 (略)
采购项目名称：	常压金属有机物化学气相沉积设备
预算金额：	* . *** 万元(人民币)
采购品目：	A *** 电子工业专用生产设备
采购需求概况：	以实际公告为准。常压金属有机物化学气相沉积设备。进行常压MOCVD外延生长，有利于In原子并入晶格、抑制In偏析和点缺陷，适合生长高质量的绿光InGaN量子阱有源区和激光器结构。数量1台。生长温度最高 * 度、生长压力最高 * mbar，阀门切换时间小于0.1s，配置In、Ga、AlN、Si、Mg等生长源；生长材料的厚度和掺杂浓度均匀性标准差≤3%；材料C和O杂质本地浓度≤1E * cm-3；InGaN量子阱发光波长标准差≤5nm；可以支持2-4英寸的晶圆；可以配置提升源注入精度的Epison气体浓度传感器；可以配置多种原味检测，如Laytec、EpiTT、EpiCurveTT等。供应商可提供1年或以上的售后维保服务。
预计采购时间：	***
备注：